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ANELVA佳能皮拉尼计（耐腐蚀型） M-351PG

来源：作者：王定辉时间：2017-08-15 返回

ANELVA佳能皮拉尼计（耐腐蚀型） M-351PG

这是用Ni长丝，以增加耐腐蚀性的模型。它支持硬工艺设备，如反应离子刻蚀和化学气相沉积。

特征
1.Improved耐腐蚀
??使用NI长丝
2，良好的可重复性和低成本
3.从5×度10 -2 Pa至大气压

应用
·半导体及电子器件制造设备
??干蚀刻设备，等离子CVD设备，LD-CVD设备
·食品和药品的生产设备
??真空冷冻干燥，减压蒸馏，灭菌设备