ANELVA佳能离子计 M-311HG

来源：作者：王定辉时间：2017-08-15 返回

ANELVA佳能离子计 M-311HG

这是一个换能器真空系列离子计。离子计（热阴极电离真空计）是一个优秀的真空规具有良好的重复性和线性度和较宽的压力测量范围。它使用经过验证的微型计（MG-2I）的传感器。

特征
1.Wide压力测量范围
??从10-7Pa至10Pa的，能够测量低于溅射工艺低真空不牺牲超高真空月底特点。
2，高响应的模拟输出
??用压力值的模拟信号输出在100ms内出色的响应，使过程压力控制使用。
四只发射电流设置模式
??可选根据应用在高压力范围内使用过程中提高灯丝寿命。

应用
·生产使用真空设备压力测量
·半导体溅射设备的压力测量
·各种真空设备

选项
·显示设备配套系列提供。
??大型数字液晶显示，方便查看。
??显著提高可操作性。
??根据您的需要1路型或3通道类型之间进行选择。

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