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ANELVA佳能 电容薄膜规 M-341DG

来源:  作者:王定辉  时间:2017-08-15  返回
ANELVA佳能 电容薄膜规 M-341DG

这是一个电容计(隔膜压力表)符合RoHS规定。
它提供了按钮调零,LED状态显示,并且对于改进的可用性和精度低功耗。

特征
利用微机械技术1.Static电容隔膜压力表
2.采用单晶硅膜片作为传感器
3.Compact,重量轻,成本低,以及低功耗
4,高精确度和可重复性

应用
·溅射系统,灰化系统
·负载锁定室
·气体分析/泵系统压力测量