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ANELVA佳能 大范围电离真空计 M-833HG

来源:  作者:王定辉  时间:2017-08-15  返回
ANELVA佳能 大范围电离真空计 M-833HG

M-833HG是专为微型B-A规做了一个控制单元。配套齐全的仪器和数据输出可选的扩展板是可用的。微型B-A计和TC计(选项),并执行自动切换压力表使用自动灯丝的组合使从大气压到超高真空高度精确的真空测量。最适合安装在高至超高真空设备。


特征
外部控制功能1.Variety实现完全的远程操作。
2.标准配备了两个设定点。
3.Highly扩展支持多达四个选项板。 (注:不支持GP-IB选项。)
4.Complies符合RoHS和CE认证。

应用
·自动真空设备压力测量
·溅射工艺压力测量与控制
·多室系统的压力测量
·一般真空设备压力测量